設(shè)備分類：實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)型

該設(shè)備廣泛的應(yīng)用能勝任眾多的需求。
除了SONOSCAN各種功能外，該設(shè)備還為用戶開放了自定義空間，讓用戶使用起來更方便舒適，并幫助客戶能夠生產(chǎn)出高質(zhì)量的產(chǎn)品。

主要功能：
 

• 帶動態(tài)平衡塊和線性馬達(dá)驅(qū)動的掃描塔使得圖像采集更清晰

• ESD操作臺面，**人體工程學(xué)和防靜電設(shè)計(jì)

• 簡易裝載臺可容納JEDEC托盤和300mm晶圓

• 精準(zhǔn)的掃描臺和樣品固定架

• TurboSpeed加速掃描功能

• PolyGate功能，每個通道可設(shè)置多達(dá)100個Gate，能同時收集100層感興趣的區(qū)域數(shù)據(jù)，包括能量、色譜、波形等，并生成100張圖像

• Multi-Gate和Probing-Gate功能允許單層或多層聚焦成像

• SonoSimulator功能使薄層、多層樣品分析變得容易，例如堆疊芯片

• STaR 模式能同時獲得反射和透射兩種圖像

• Quantitative B-Scan Analysis Mode (Q-BAM)基于B-Scan提供切層的極性,幅值和深度數(shù)據(jù)

• 可選Digital Image Analysis (DIA)數(shù)字圖像分析自動計(jì)算出缺陷大小、數(shù)目、多少和分布

• 可選Virtual Rescanning Mode (VRM)樣品虛擬建模脫機(jī)掃描模式

• 可選Waterfall流水式探頭和在線溫度控制

• 可選FDI頻域成像模式